德國MUEGGE等離子組件MA3000C-403BB

公司簡介：

MUEGGE 代表著技術和專業(yè)知識，激發(fā)了定制解決方案的靈感。對工業(yè)流程的深入了解使我們的高技能專家能夠為您提供所需的所有支持。作為工業(yè)微波和微波輔助等離子系統(tǒng)制造商，我們開發(fā)可靠、經濟高效且可持續(xù)的機器。在工業(yè)微波和微波輔助等離子體技術方面擁有 30 多年的經驗，其專家團隊深入了解工業(yè)流程，能夠提供從組件設計到系統(tǒng)集成的支持。

應用領域：

工業(yè)加熱：如橡膠硫化、木材干燥、技術泡沫生產等。

半導體和平板應用：例如半導體制造過程中的蝕刻、沉積等工藝。

光伏領域：在光伏電池生產等環(huán)節(jié)有應用。

醫(yī)療醫(yī)藥：如巴氏殺菌和滅菌、真空干燥等。

實驗室培育鉆石：為鉆石培育過程提供微波能量支持。

光學纖維：在光纖制造過程中可能用于加熱或處理等環(huán)節(jié)。

Power-to-X 應用：將電能轉化為氣態(tài)或液態(tài)燃料或化學品，如利用微波加熱和微波等離子體工藝將可再生能源產生的電能轉化為氫氣、一氧化碳和合成氣等物質，用于存儲和再利用。

產品介紹：

一 等離子體組件

作為等離子組件制造商，可幫助您設計和調整設備，同時保持快速上市和低 CoO。作為我們“交鑰匙"產品系列的一部分，我們?yōu)楦鞣N不同的制造工具和應用提供等離子組件：

氧化物和氮化物層的高密度沉積

大規(guī)模沉積和蝕刻

SU-8 距離

高選擇性去除有機物質

用于清潔氧敏感材料的非氧化性化學品（H2 工藝）

無損清潔敏感表面（例如傳感器）和 3D 結構

各向同性腔室清潔

LIGA 工藝（光刻、電鍍和成型）

1. MA3000C-403BB

自由基血漿源（遠程血漿源）

過程：蝕刻和沉積

輸出連接類型：介電材料

藍寶石

標稱電源電壓 [V]：230 / 208

輸出功率 [W]：3000

頻率 [MHz]：2450

型號列表：

MA1250C-003BC

MA2000C-083BB

MA2000C-143BB

MA2000C-913BB

MA3000C-403BB

MA3000C-283BB

MA3000C-463BB

德國MUEGGE等離子組件MA3000C-403BB